帶有XTrace微點(diǎn)X射線源的Micro-XRF將完整的micro-XRF光譜儀的功能添加到掃描電子顯微鏡中。 XTrace適用于幾乎任何SEM的自由傾斜腔室端口。用戶可以從微量元素靈敏度和XRF分析的更高信息深度中受益。
用戶友好的用于SEM的Micro-XRF系統(tǒng)
使用HyperMap進(jìn)行分布分析可存儲(chǔ)每個(gè)地圖點(diǎn)的完整光譜，以進(jìn)行在線和離線分析可以使用Micro-XRF和EDS分析樣品而無需改變位置這兩種方法都集成在同一個(gè)分析軟件套件中 - ESPRIT 2.0不干擾正常的SEM操作，XTrace可以在大多數(shù)時(shí)間保持在其測量位置。
完整的micro-XRF光譜儀，無需投資
分析結(jié)果與獨(dú)立系統(tǒng)的結(jié)果相比較
圖像平鋪允許映射大區(qū)域
可選擇的初級(jí)輻射濾波器，以抑制衍射峰
使用SEM電動(dòng)載物臺(tái)
允許樣品傾斜以產(chǎn)生最小光斑尺寸。
易諾與美國伊諾斯公司（Innov-X）開發(fā)生產(chǎn)的伊諾斯Innov-X光譜儀有著良好的合作關(guān)系。